BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma › Обзор исследований

Логотип

BN coatings deposition by magnetron sputtering of B and BN targets in electron beam generated plasma

Результаты исследований: Вклад в журнал › Статья › Рецензирование

DOI

https://doi.org/10.1088/1742-6596/857/1/012017
Конечная издательская версия

A. S. Kamenetskikh
N. V. Gavrilov
O. V. Koryakova
S. O. Cholakh

Язык оригинала	Английский
Номер статьи	012017
Журнал	Journal of Physics: Conference Series
Том	857
Номер выпуска	1
DOI	https://doi.org/10.1088/1742-6596/857/1/012017
Состояние	Опубликовано - 1 июн. 2017

Предметные области ASJC Scopus

Physics and Astronomy(all)

Предметные области WoS

Материаловедение, Покрытия и пленки
Физика, Прикладная

ID: 1932102