Публикации

1. Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях : Часть 1. Физические основы процессов взаимодействия ускоренных частиц с твердым телом: учебное пособие

   Результаты исследований: Книга/отчет › Учебное издание › Рецензирование

2. Optical properties of aluminum-magnesium spinel thin films

   Результаты исследований: Глава в книге, отчете, сборнике статей › Материалы конференции › Рецензирование

3. Synthesis of Lithium Phosphorus Oxynitride (LiPON) Thin Films by Li₃ PO₄ Anodic Evaporation in Nitrogen Plasma of a Low-Pressure Arc Discharge

   Результаты исследований: Вклад в журнал › Статья › Рецензирование

Просмотреть все (35) »