Представлены результаты исследования условий формирования и структуры α-фазы в Al₂O₃-покрытиях, полученных реакционным анодным испарением в дуговом разряде при низкой температуре (500-550 °С). В экспериментах варьировались плотность тока ионного сопровождения (до 20 мА/см²) и энергия ионов (25-150 эВ), поступающих на поверхность покрытия при постоянной скорости роста 3 мкм/ч. Фазовый состав покрытия анализировался методами рентгеновской дифракции и инфракрасной спектроскопии. Показано, что α-фаза формируется при достижении порогового напряжения смещения 75-100 В и стабильна в ограниченном диапазоне изменения энергии ионов, рост которой приводит к уменьшению размера нанокристаллитов α-фазы и аморфизации покрытия. Особенностью структуры покрытий является преимущественная ориентация (300), наиболее вероятной причиной доминирования которой служит рост α-фазы при выполнении ориентационного соотношения (440)g-Al₂O₃/(300)a-Al₂O₃.