Публикации

1. Synthesis of Lithium Phosphorus Oxynitride (LiPON) Thin Films by Li₃ PO₄ Anodic Evaporation in Nitrogen Plasma of a Low-Pressure Arc Discharge

   Результаты исследований: Вклад в журнал › Статья › Рецензирование

2. Deposition of Al₂O₃ coatings in Ar-O₂ low-pressure discharge plasma under a high dissociation degree of O₂

   Результаты исследований: Вклад в журнал › Материалы конференции › Рецензирование

3. Effect of the O₂ dissociation degree on the rate of anodic evaporation of Al in a low-pressure arc

   Результаты исследований: Вклад в журнал › Материалы конференции › Рецензирование

Просмотреть все (20) »