DOI

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи061208
ЖурналJournal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics
Том36
Номер выпуска6
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 нояб. 2018

    Предметные области WoS

  • Технологии, Электротехника и электроника
  • Нанотехнологии
  • Физика, Прикладная

    Предметные области ASJC Scopus

  • Electronic, Optical and Magnetic Materials
  • Instrumentation
  • Process Chemistry and Technology
  • Surfaces, Coatings and Films
  • Electrical and Electronic Engineering
  • Materials Chemistry

ID: 8332270