Доклад посвящен исследованию электродинамических параметров копланарной линии интегрально-оптического модулятора в диапазоне частот от 1,0 до 43,5 ГГц в зависимости от технологии обработки буферного слоя из диоксида кремния при постоянных геометрических параметрах структуры.