ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КОПЛАНАРНОЙ ЛИНИИ СВЧ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКОГО МОДУЛЯТОРА В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ПАРАМЕТРОВ БУФЕРНОГО СЛОЯ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Доклад посвящен исследованию электродинамических параметров копланарной линии интегрально-оптического модулятора в диапазоне частот от 1,0 до 43,5 ГГц в зависимости от технологии обработки буферного слоя из диоксида кремния при постоянных геометрических параметрах структуры.