DOI

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)287-292
Число страниц6
ЖурналVacuum
Том159
DOI
СостояниеОпубликовано - 1 янв. 2019

    Предметные области ASJC Scopus

  • Instrumentation
  • Condensed Matter Physics
  • Surfaces, Coatings and Films

    Предметные области WoS

  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Физика, Прикладная

ID: 8162771