DOI

Язык оригиналаАнглийский
Страницы (с-по)349-353
Число страниц5
ЖурналVacuum
Том109
DOI
СостояниеОпубликовано - нояб. 2014

    Предметные области ASJC Scopus

  • Surfaces, Coatings and Films
  • Condensed Matter Physics
  • Instrumentation

ID: 379847