Результаты исследований: Вклад в журнал › Статья › Рецензирование
| Язык оригинала | Английский |
|---|---|
| Номер статьи | 051203 |
| Журнал | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films |
| Том | 34 |
| Номер выпуска | 5 |
| DOI | |
| Состояние | Опубликовано - 1 сент. 2016 |
ID: 1092393