Результаты исследований: Вклад в журнал › Статья › Рецензирование
Язык оригинала | Английский |
---|---|
Страницы (с-по) | 2933-2935 |
Число страниц | 3 |
Журнал | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films |
Том | 12 |
Номер выпуска | 5 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 1 сент. 1994 |
ID: 55751407