Pressure-driven flow of rarefied gas through a slit at a various pressure ratios › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1116/1.3682457
Конечная издательская версия

Oleg Sazhin

Язык оригинала	Английский
Номер статьи	021603
Журнал	Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films
Том	30
Номер выпуска	2
DOI	https://doi.org/10.1116/1.3682457
Состояние	Опубликовано - мар. 2012

Предметные области ASJC Scopus

Condensed Matter Physics
Surfaces and Interfaces
Surfaces, Coatings and Films

Предметные области WoS

Материаловедение, Покрытия и пленки
Физика, Прикладная

ID: 1087117