DOI

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи111733
ЖурналVacuum
Том208
DOI
СостояниеОпубликовано - февр. 2023

    Предметные области ASJC Scopus

  • Instrumentation
  • Condensed Matter Physics
  • Surfaces, Coatings and Films

    Предметные области WoS

  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Физика, Прикладная

ID: 32883624