Getter films with a reactive component › Обзор исследований

DOI

https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2010.11.011
Конечная издательская версия

Язык оригинала	Английский
Страницы (с-по)	755-760
Число страниц	6
Журнал	Vacuum
Том	85
Номер выпуска	7
DOI	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2010.11.011
Состояние	Опубликовано - 21 янв. 2011

Предметные области ASJC Scopus

Condensed Matter Physics
Instrumentation
Surfaces, Coatings and Films

Предметные области WoS

Материаловедение, Междисциплинарные труды
Физика, Прикладная

ID: 7380861