Результаты исследований: Вклад в журнал › Статья › Рецензирование
Язык оригинала | Английский |
---|---|
Страницы (с-по) | 320-330 |
Число страниц | 11 |
Журнал | Semiconductor Science and Technology |
Том | 16 |
Номер выпуска | 5 |
DOI | |
Состояние | Опубликовано - 1 мая 2001 |
ID: 44110567