Проведено экспериментальное и теоретическое исследование процесса наноструктурирующего выглаживания при помощи сферического индентора и показано, что в случае когда выглаживаемые поверхности содержат локализованные неровности (просверленное отверстие), возможно установление устойчивого предельного цикла автоколебаний, что приводит к волнистой остаточной деформации поверхности. Для расчета топографии поверхности после наноструктурирующего выглаживания предложена численная модель, которая показывает качественное совпадение с экспериментом. На основе модели рассчитано критическое значение затухания, при котором автоколебания подавляются