DOI

Язык оригиналаАнглийский
Номер статьи104867
Число страниц8
ЖурналMaterials Science in Semiconductor Processing
Том108
DOI
СостояниеОпубликовано - 15 мар. 2020

    Предметные области WoS

  • Технологии, Электротехника и электроника
  • Материаловедение, Междисциплинарные труды
  • Физика, Прикладная

    Предметные области ASJC Scopus

  • Condensed Matter Physics
  • Mechanics of Materials
  • Mechanical Engineering
  • Materials Science(all)

ID: 11329819