Представлены результаты расчета геометрических параметров копланарной линии с использованием методов конформного отображения и компьютерного моделирования в программе COMSOL Multiphysics. В едином технологическом цикле напыления вместе с копланарной линией передачи возбуждающего сигнала получены литографические микроразмерные элементы FeNi/Cu/FeNi. Представлено экспериментальное исследование магнитодинамики полученных пленочных элементов в диапазоне частот 1-20 ГГц. Показана возможность определения основных параметров ферромагнитного резонанса пленочных ферромагнитных микроструктур.