С использованием атомно-силовой и растровой электронной микроскопии исследована структура поверхности тонких пленок Cu–Ga–Se, полученных совместным гидрохимическим осаждением селенидов меди (I) Cu2Se и галлия Ga2Se3. Показано изменение архитектуры слоев и их морфологии после термической обработки в воздушной атмосфере при 723 K.