ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ГИДРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ZNSE НА ИХ МОРФОЛОГИЮ И ВНУТРЕННИЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ

Standard

ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ГИДРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ZNSE НА ИХ МОРФОЛОГИЮ И ВНУТРЕННИЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ. / Маскаева, Лариса Николаевна ; Марков, Вячеслав Филиппович ; Федорова, Екатерина Алексеевна и др.
в: Журнал прикладной химии, Том 91, № 9, 2018, стр. 1346-1356.

Результаты исследований: Вклад в журнал › Статья › Рецензирование

BibTeX

@article{6ba92475de134f30896e084f63a1f345,

title = "ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ГИДРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ZNSE НА ИХ МОРФОЛОГИЮ И ВНУТРЕННИЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ",

abstract = "Методом гидрохимического осаждения в системе ZnCl2-Na2ЭДТА-NaOH-NH2OH·HCl с использованием селеносульфата натрия в качестве халькогенизатора на ситалловых подложках получены пленки ZnSe толщиной до 2300 нм. Наблюдаемые по данным рентгеновского анализа дифракционные отражения соответствуют фазе ZnSe (штиллеит) с кубической (пр. гр. F43m) кристаллической структурой при значении ее постоянной 5.610 ± 0.002 {\AA}. Электронно-микроскопическими исследованиями установлено, что морфология пленок ZnSe представляет собой плотно прилегающие друг к другу глобульные образования, средние размеры которых в зависимости от условий осаждения составляют 250-400 нм. По результатам элементного EDX анализа полученные пленки в среднем содержат 43.68 ат% цинка, 30.50 ат% селена и 25.82 ат% кислорода, концентрация которого несколько снижается на глубине 30 нм. Рассчитаны внутренние механические напряжения сжатия, вызванные различием коэффициентов термического расширения пленки ZnSe и ситалловой подложки, зависящие от толщины осажденного слоя и достигающие для ~1040 нм величины -30.62 кН·м-2. Использование полученных результатов позволит исключить нарушение сплошности пленки с ростом ее толщины при формировании прекурсорных слоев, а также обеспечить выбор оптимального подложечного материала.",

author = "Маскаева, {Лариса Николаевна} and Марков, {Вячеслав Филиппович} and Федорова, {Екатерина Алексеевна} and Кузнецов, {Михаил Владимирович}",

year = "2018",

doi = "10.1134/S004446181809013X",

language = "Русский",

volume = "91",

pages = "1346--1356",

journal = "Журнал прикладной химии",

issn = "0044-4618",

publisher = "Издательство {"}Наука{"}",

number = "9",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - ВЛИЯНИЕ УСЛОВИЙ ГИДРОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК ZNSE НА ИХ МОРФОЛОГИЮ И ВНУТРЕННИЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ

AU - Маскаева, Лариса Николаевна

AU - Марков, Вячеслав Филиппович

AU - Федорова, Екатерина Алексеевна

AU - Кузнецов, Михаил Владимирович

PY - 2018

Y1 - 2018

N2 - Методом гидрохимического осаждения в системе ZnCl2-Na2ЭДТА-NaOH-NH2OH·HCl с использованием селеносульфата натрия в качестве халькогенизатора на ситалловых подложках получены пленки ZnSe толщиной до 2300 нм. Наблюдаемые по данным рентгеновского анализа дифракционные отражения соответствуют фазе ZnSe (штиллеит) с кубической (пр. гр. F43m) кристаллической структурой при значении ее постоянной 5.610 ± 0.002 Å. Электронно-микроскопическими исследованиями установлено, что морфология пленок ZnSe представляет собой плотно прилегающие друг к другу глобульные образования, средние размеры которых в зависимости от условий осаждения составляют 250-400 нм. По результатам элементного EDX анализа полученные пленки в среднем содержат 43.68 ат% цинка, 30.50 ат% селена и 25.82 ат% кислорода, концентрация которого несколько снижается на глубине 30 нм. Рассчитаны внутренние механические напряжения сжатия, вызванные различием коэффициентов термического расширения пленки ZnSe и ситалловой подложки, зависящие от толщины осажденного слоя и достигающие для ~1040 нм величины -30.62 кН·м-2. Использование полученных результатов позволит исключить нарушение сплошности пленки с ростом ее толщины при формировании прекурсорных слоев, а также обеспечить выбор оптимального подложечного материала.

AB - Методом гидрохимического осаждения в системе ZnCl2-Na2ЭДТА-NaOH-NH2OH·HCl с использованием селеносульфата натрия в качестве халькогенизатора на ситалловых подложках получены пленки ZnSe толщиной до 2300 нм. Наблюдаемые по данным рентгеновского анализа дифракционные отражения соответствуют фазе ZnSe (штиллеит) с кубической (пр. гр. F43m) кристаллической структурой при значении ее постоянной 5.610 ± 0.002 Å. Электронно-микроскопическими исследованиями установлено, что морфология пленок ZnSe представляет собой плотно прилегающие друг к другу глобульные образования, средние размеры которых в зависимости от условий осаждения составляют 250-400 нм. По результатам элементного EDX анализа полученные пленки в среднем содержат 43.68 ат% цинка, 30.50 ат% селена и 25.82 ат% кислорода, концентрация которого несколько снижается на глубине 30 нм. Рассчитаны внутренние механические напряжения сжатия, вызванные различием коэффициентов термического расширения пленки ZnSe и ситалловой подложки, зависящие от толщины осажденного слоя и достигающие для ~1040 нм величины -30.62 кН·м-2. Использование полученных результатов позволит исключить нарушение сплошности пленки с ростом ее толщины при формировании прекурсорных слоев, а также обеспечить выбор оптимального подложечного материала.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=35605055

U2 - 10.1134/S004446181809013X

DO - 10.1134/S004446181809013X

M3 - Статья

VL - 91

SP - 1346

EP - 1356

JO - Журнал прикладной химии

JF - Журнал прикладной химии

SN - 0044-4618

IS - 9

ER -

ID: 7936351