Изобретение относится к люминесцентным материалам - конвертерам вакуумного ультрафиолетового излучения в излучение видимого диапазона, выполненным в виде аморфной пленки оксида кремния SiOX на кремниевой подложке, предназначенным для создания функциональных элементов фотонных приборов нового поколения, а также для контроля жесткого ультрафиолетового излучения в вакуумных технологических процессах. Толщина аморфной пленки оксида кремния SiOX конвертера составляет 20÷70 нм. Содержание ионов кислорода в упомянутой пленке соответствует количеству, при котором стехиометрический коэффициент Х находится в пределах от 2,01 до 2,45. Увеличиваются интенсивности красного излучения конвертера, а также обеспечивается красное свечение при сохранении конверсии вакуумного ультрафиолетового излучения в видимое.
Переведенное названиеCONVERTER OF VACUUM ULTRAVIOLET RADIATION INTO RADIATION OF VISIBLE RANGE IN FORM OF AMORPHOUS SILICON OXIDE SiOX FILM ON SILICON SUBSTRATE: patent of invention
Язык оригиналаРусский
Номер патента2526344
IPCC23C 14/48,C23C 14/58,H01L 33/26,C09K 11/59
Дата подачи заявки10/01/2013
СостояниеОпубликовано - 20 авг. 2014

    ГРНТИ

  • 29.19.00 Физика твердых тел

ID: 12208134