Ссылки

Программа методом конечных элементов решает обратную физическую задачу поиска жёсткости при заданной частоте первой вертикальной резонансной колебательной моды кремниевого зонда атомно-силового микроскопа. Входные параметры: геометрические размеры кантилевера и иглы. В расчёте учтена анизотропия упругих свойств кремния и ориентация кристаллографических направлений в соответствии технологии производства зондов. При решении обратной задачи для сходимости экспериментальной частоты с теоретической варьируется толщина кантилевера. Программа может быть использована для определения жёсткости кантилеверов без контакта зонда с поверхностью. Выражаем благодарность за финансирование исследований со стороны Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030».
Язык оригиналаРусский
Номер патента2023681420
Дата приоритета03/10/2023
Дата подачи заявки03/10/2023
СостояниеОпубликовано - 13 окт. 2023

ID: 57028186