Детали, сделанные из современных хрупких материалов с высоким качеством обработанной поверхности, востребованы при изготовлении оптических и электронных приборов, а также ответственных узлов в машиностроительных изделиях. Лезвийная обработка алмазным инструментом позволяет формообразовывать такие детали без теплового поражения поверхностных функциональных слоев. Вместе с тем лезвийная обработка хрупких материалов сопровождается формированием на обработанной поверхности дефектного слоя вследствие нарушения структуры материала при силовом воздействии режущего инструмента. Рассмотрены причины и механизм образования дефектного слоя на обработанной поверхности при несвободном резании хрупкого материала. Обсуждены пути уменьшения размеров дефектного слоя. Выполнены теоретический и компьютерный анализы влияния локального поля напряжений в зоне действия сосредоточенной сжимающей силы на поверхность пластины из хрупкого материала. Экспериментальными методами исследован дефектный слой поверхности после нанесения риски трехгранным алмазным инструментом на кремниевую пластину.