Разработана аналитическая модель термоанемометрического сенсора потока. Создан термоанемометрический микросенсор на основе легированного поликристаллического кремния. Изготовлен опытный образец датчика расхода жидкости. Представлены результаты испытаний датчика.
Переведенное названиеLIQUID FLOW METER ON THE BASE OF THERMO ANEMOMETRIC FLOW MICROSENSOR
Язык оригиналаРусский
Страницы (с-по)118-124
Число страниц7
ЖурналНаучное приборостроение
Том23
Номер выпуска2
СостояниеОпубликовано - 2013

    Уровень публикации

  • Перечень ВАК

    ГРНТИ

  • 59.37.00 Приборы для теплотехнических и теплофизических измерений

ID: 8228961