Standard

РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение. / Бекетов, Аскольд Рафаилович (Изобретатель); Баранов, Михаил Владимирович (Изобретатель); Шишкин, Роман Александрович (Изобретатель) и др.
Федеральный институт промышленной собственности. Номер патента: 2631076. сент. 18, 2017.

Результаты исследований: Патент

Harvard

Бекетов, АР, Баранов, МВ, Шишкин, РА, Елагин, АА, Кудякова, ВС & Афонин, ЮД сент.. 18 2017, РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение, Номер патента 2631076. <http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2631076&TypeFile=html>

APA

Бекетов, А. Р., Баранов, М. В., Шишкин, Р. А., Елагин, А. А., Кудякова, В. С., & Афонин, Ю. Д. (2017). РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение. (Номер патента 2631076). Федеральный институт промышленной собственности. http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2631076&TypeFile=html

Vancouver

Бекетов АР, Баранов МВ, Шишкин РА, Елагин АА, Кудякова ВС, Афонин ЮД, Изобретатели. РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение. 2631076. 2017 сент. 18.

Author

Бекетов, Аскольд Рафаилович (Изобретатель) ; Баранов, Михаил Владимирович (Изобретатель) ; Шишкин, Роман Александрович (Изобретатель) и др. / РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. Номер патента: 2631076. сент. 18, 2017.

BibTeX

@misc{350face4ce1445d8b33636bee7e1ae29,
title = "РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ: патент на изобретение",
abstract = "Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.",
author = "Бекетов, {Аскольд Рафаилович} and Баранов, {Михаил Владимирович} and Шишкин, {Роман Александрович} and Елагин, {Андрей Александрович} and Кудякова, {Валерия Сергеевна} and Афонин, {Юрий Дмитриевич}",
year = "2017",
month = sep,
day = "18",
language = "Русский",
publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "2631076; C01B 21/072,B82Y 40/00",

}

RIS

TY - PAT

T1 - РЕАКЦИОННАЯ КАМЕРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИСПЕРСНОГО НИТРИДА АЛЮМИНИЯ

T2 - патент на изобретение

AU - Бекетов, Аскольд Рафаилович

AU - Баранов, Михаил Владимирович

AU - Шишкин, Роман Александрович

AU - Елагин, Андрей Александрович

AU - Кудякова, Валерия Сергеевна

AU - Афонин, Юрий Дмитриевич

PY - 2017/9/18

Y1 - 2017/9/18

N2 - Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.

AB - Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и гибким трубопроводом, который выполнен с возможностью герметичного соединения со средством подачи азотсодержащих газов, и снабжена устройством нагрева, выполненным с возможностью создания градиента температуры вдоль реакционной камеры. При этом камера расположена вертикально и выполнена разъемной с образованием нижней, средней и верхней секций. Нижняя и средняя секции разделены перфорированной перегородкой, а средняя и верхняя секции разделены фильтром. Технический результат заключается в повышении выхода нитрида алюминия, снижении интенсивности процесса агломерации и уменьшении времени и энергозатрат на процесс образования нитрида алюминия.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=38287116

M3 - Патент

M1 - 2631076

Y2 - 2014/09/29

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -

ID: 6560133