Использование: в технологии тонкопленочных материалов при получении каталитических, электродных, сверхпроводящих и СВЧ материалов. Сущность изобретения: готовят рабочий раствор, содержащий 0,1 10 мас. металлических компонентов сложного оксида, 5 20 мас. поливинилового спирта, остальное вода. В раствор дополнительно вводят 1 50 мас. водорастворимого кристаллизующегося полимера, например полиэтиленоксида или полиэтиленгликоля. Раствор послойно наносят на изделие с промежуточной сушкой и нагревом не менее двух слоев до удаления органической компоненты при 400 680°С. Эти операции осуществляют с коаксиальным вращением изделия. Затем проводят окончательный отжиг при 600 1000°С. Дополнительное введение полимера обеспечивает в процессе нагрева появления вязкотекучей среды, хорошо растекающейся по поверхности при вращении, где происходит разложение солевых компонентов. Это обеспечивает получение равномерных покрытий на внутренних поверхностях изделий.
Переведенное названиеProcess of Manufacture of Film on Base of Complex Oxides: patent of invention
Язык оригиналаРусский
Номер патента2048619
IPCC30B 7/00,C30B 29/22
Дата приоритета03/03/1992
Дата подачи заявки03/03/1992
СостояниеОпубликовано - 20 нояб. 1995

    ГРНТИ

  • 29.33.00 Лазерная физика

ID: 30501058