Результаты исследований: Книга/отчет › Учебное издание › Рецензирование
Результаты исследований: Книга/отчет › Учебное издание › Рецензирование
}
TY - BOOK
T1 - Технология тонких пленок и покрытий
T2 - учебное пособие
AU - Маскаева, Лариса Николаевна
AU - Федорова, Екатерина Алексеевна
AU - Марков, Вячеслав Филиппович
A2 - Маскаева, Лариса Николаевна
N1 - Рекомендовано методическим советом Уральского федерального университета в качестве учебного пособия для студентов вуза, обучающихся по направлению подготовки 18.03.01 «Химическая технология»
PY - 2019
Y1 - 2019
N2 - В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.
AB - В учебном пособии рассмотрены физико-химические принципы организации нанесения тонких пленок и покрытий, способы нанесения пленок с использованием как физических, так и химических технологий, методы определения толщин, фазового состава и функциональных свойств пленок халькогенидов металлов и области их применения в электронной технике и альтернативной энергетике. Адресовано бакалаврам и магистрам, обучающимся по направлению 18.03.01 «Химическая технология»; может быть полезно студентам, специализирующимся в области химической технологии материалов и изделий электронной техники, а также инженерам и научным работникам, деятельность которых связана с получением и исследованием тонкопленочных, функциональных материалов для микро- и оптоэлектроники.
UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=38253476
M3 - Учебное издание
SN - 978-5-7996-2560-3
BT - Технология тонких пленок и покрытий
PB - Издательство Уральского университета
CY - Екатеринбург
ER -
ID: 9969027