Рассмотрены возможные модели размещения атомов водорода на узлах кубической решетки оксигидрида титана TiOyHp с вакансиями в металлической и неметаллической подрешетках. Установлено, что оксигидриды сохраняют кристаллическую решетку типа B1 исходных кубических монооксидов и содержат структурные вакансии в металлической и кислородной подрешетках. Сопоставление полученных аналитических выражений для интенсивности дифракционных отражений с экспериментальными рентгеновскими и нейтронографическими данными показало, что в оксигидридах внедренные атомы H занимают вакантные октаэдрические позиции 4( b) кислородной подрешетки, размещения H в тетраэдрических позициях 8( c) не наблюдается. Найден канал перехода беспорядок-порядок, связанный с образованием упорядоченного моноклинного оксигидрида титана типа Ti5O5. Впервые рассчитаны функции распределения атомов Ti, O и H в частично упорядоченном моноклинном оксигидриде TiO0.96H0.14 (Ti0.89O0.85H0.12) со структурой типа Ti5O5 и найдены концентрации указанных атомов на позициях его решетки.