ВЛИЯНИЕ ИНЖЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ (100 ЭВ) НА СВОЙСТВА TIN ПОКРЫТИЙ, ФОРМИРУЕМЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Standard

ВЛИЯНИЕ ИНЖЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ (100 ЭВ) НА СВОЙСТВА TIN ПОКРЫТИЙ, ФОРМИРУЕМЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. / Каменецких, Александр Сергеевич; Гаврилов, Н. В.; Чукин, Андрей Владимирович.
In: Известия вузов. Физика, Vol. 57, No. 10-3, 2014, p. 161-165.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

BibTeX

@article{003a2dc8e591489f916a08c4dd463379,

title = "ВЛИЯНИЕ ИНЖЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ (100 ЭВ) НА СВОЙСТВА TIN ПОКРЫТИЙ, ФОРМИРУЕМЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ",

abstract = "Широкий пучок низкоэнергетичных электронов (100 эВ, 0-8 А) инжектировался в Ar-N 2-газовую смесь, давление которой регулировалось в пределах 0.15-0.28 Па изменением величины потока азота 1-25 мл/мин. В отсутствие пучка твердость TiN-покрытий имеет локальный максимум (25 ГПа) при потоке азота 12 мл/мин. Рост тока пучка приводит к увеличению содержания азота в покрытиях и твёрдости до 30-35 ГПа при низких потоках азота. Воздействие пучка на газовую смесь приводит к увеличению параметра решетки, уровня микронапряжений, уменьшению размера кристаллитов и изменению текстуры покрытия. Показано, что применение электронного пучка открывает дополнительные возможности по сравнению с разбалансировкой магнитного поля в магнетронах, так как обеспечивает полное управление энергией и током ионизирующих рабочую газовую среду электронов и соответственно частотой генерации и плотностью тока ионов из плазмы.",

author = "Каменецких, {Александр Сергеевич} and Гаврилов, {Н. В.} and Чукин, {Андрей Владимирович}",

year = "2014",

language = "Русский",

volume = "57",

pages = "161--165",

journal = "Известия вузов. Физика",

issn = "0021-3411",

publisher = "Национальный исследовательский Томский государственный университет",

number = "10-3",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - ВЛИЯНИЕ ИНЖЕКЦИИ ПУЧКА ЭЛЕКТРОНОВ (100 ЭВ) НА СВОЙСТВА TIN ПОКРЫТИЙ, ФОРМИРУЕМЫХ МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

AU - Каменецких, Александр Сергеевич

AU - Гаврилов, Н. В.

AU - Чукин, Андрей Владимирович

PY - 2014

Y1 - 2014

N2 - Широкий пучок низкоэнергетичных электронов (100 эВ, 0-8 А) инжектировался в Ar-N 2-газовую смесь, давление которой регулировалось в пределах 0.15-0.28 Па изменением величины потока азота 1-25 мл/мин. В отсутствие пучка твердость TiN-покрытий имеет локальный максимум (25 ГПа) при потоке азота 12 мл/мин. Рост тока пучка приводит к увеличению содержания азота в покрытиях и твёрдости до 30-35 ГПа при низких потоках азота. Воздействие пучка на газовую смесь приводит к увеличению параметра решетки, уровня микронапряжений, уменьшению размера кристаллитов и изменению текстуры покрытия. Показано, что применение электронного пучка открывает дополнительные возможности по сравнению с разбалансировкой магнитного поля в магнетронах, так как обеспечивает полное управление энергией и током ионизирующих рабочую газовую среду электронов и соответственно частотой генерации и плотностью тока ионов из плазмы.

AB - Широкий пучок низкоэнергетичных электронов (100 эВ, 0-8 А) инжектировался в Ar-N 2-газовую смесь, давление которой регулировалось в пределах 0.15-0.28 Па изменением величины потока азота 1-25 мл/мин. В отсутствие пучка твердость TiN-покрытий имеет локальный максимум (25 ГПа) при потоке азота 12 мл/мин. Рост тока пучка приводит к увеличению содержания азота в покрытиях и твёрдости до 30-35 ГПа при низких потоках азота. Воздействие пучка на газовую смесь приводит к увеличению параметра решетки, уровня микронапряжений, уменьшению размера кристаллитов и изменению текстуры покрытия. Показано, что применение электронного пучка открывает дополнительные возможности по сравнению с разбалансировкой магнитного поля в магнетронах, так как обеспечивает полное управление энергией и током ионизирующих рабочую газовую среду электронов и соответственно частотой генерации и плотностью тока ионов из плазмы.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=22980222

M3 - Статья

VL - 57

SP - 161

EP - 165

JO - Известия вузов. Физика

JF - Известия вузов. Физика

SN - 0021-3411

IS - 10-3

ER -

ID: 6121987