Standard

Способ электролитического получения микроразмерных пленок кремния из расплавленных солей: патент на изобретение. / Парасотченко, Юлия Александровна (Inventor); Павленко, Ольга Борисовна (Inventor); Суздальцев, Андрей Викторович (Inventor) et al.
Федеральный институт промышленной собственности. Patent No.: 2797969. Jun 13, 2023.

Research output: Patent

Harvard

Парасотченко, ЮА, Павленко, ОБ, Суздальцев, АВ & Зайков, ЮП Jun. 13 2023, Способ электролитического получения микроразмерных пленок кремния из расплавленных солей: патент на изобретение, Patent No. 2797969. <https://www.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2797969&TypeFile=html>

APA

Парасотченко, Ю. А., Павленко, О. Б., Суздальцев, А. В., & Зайков, Ю. П. (2023). Способ электролитического получения микроразмерных пленок кремния из расплавленных солей: патент на изобретение. (Patent No. 2797969). Федеральный институт промышленной собственности. https://www.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2797969&TypeFile=html

Vancouver

Парасотченко ЮА, Павленко ОБ, Суздальцев АВ, Зайков ЮП, inventors. Способ электролитического получения микроразмерных пленок кремния из расплавленных солей: патент на изобретение. 2797969. 2023 Jun 13.

Author

Парасотченко, Юлия Александровна (Inventor) ; Павленко, Ольга Борисовна (Inventor) ; Суздальцев, Андрей Викторович (Inventor) et al. / Способ электролитического получения микроразмерных пленок кремния из расплавленных солей : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. Patent No.: 2797969. Jun 13, 2023.

BibTeX

@misc{7b289cfe24a440668ad64a9ce62c31f4,
title = "Способ электролитического получения микроразмерных пленок кремния из расплавленных солей: патент на изобретение",
abstract = "Изобретение относится к получению кремния в виде микроразмерных пленок, которые могут быть использованы в микроэлектронике, устройствах преобразования и накопления энергии. Проводят электролиз галогенидного расплава из смеси солей, содержащей, мас.%: 5-30 хлорида лития (LiCl), 5-20 хлорида калия (KCl), 45-90 хлорида цезия (CsCl), 1-5 гексафторсиликата калия (K2SiF6). Электролиз расплава ведут в инертной атмосфере при температуре от 400 до 550°C с периодическим реверсом тока с анодного на катодный. Величина импульса анодного тока составляет от 5 до 45 мА/см2 при длительности от 1 до 30 с, а величина импульса катодного тока составляет от 3 до 30 мА/см2 при длительности от 60 до 3600 с. Способ позволяет получить сплошные микроразмерные пленки кремния при снижении температуры электроосаждения, повысить чистоту кремния и увеличить срок эксплуатации конструкционных материалов реактора для осуществления способа. 3 ил.",
author = "Парасотченко, {Юлия Александровна} and Павленко, {Ольга Борисовна} and Суздальцев, {Андрей Викторович} and Зайков, {Юрий Павлович}",
year = "2023",
month = jun,
day = "13",
language = "Русский",
publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "2797969; C25B 1/00,C01B 33/00,B82Y 40/00",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Способ электролитического получения микроразмерных пленок кремния из расплавленных солей

T2 - патент на изобретение

AU - Парасотченко, Юлия Александровна

AU - Павленко, Ольга Борисовна

AU - Суздальцев, Андрей Викторович

AU - Зайков, Юрий Павлович

PY - 2023/6/13

Y1 - 2023/6/13

N2 - Изобретение относится к получению кремния в виде микроразмерных пленок, которые могут быть использованы в микроэлектронике, устройствах преобразования и накопления энергии. Проводят электролиз галогенидного расплава из смеси солей, содержащей, мас.%: 5-30 хлорида лития (LiCl), 5-20 хлорида калия (KCl), 45-90 хлорида цезия (CsCl), 1-5 гексафторсиликата калия (K2SiF6). Электролиз расплава ведут в инертной атмосфере при температуре от 400 до 550°C с периодическим реверсом тока с анодного на катодный. Величина импульса анодного тока составляет от 5 до 45 мА/см2 при длительности от 1 до 30 с, а величина импульса катодного тока составляет от 3 до 30 мА/см2 при длительности от 60 до 3600 с. Способ позволяет получить сплошные микроразмерные пленки кремния при снижении температуры электроосаждения, повысить чистоту кремния и увеличить срок эксплуатации конструкционных материалов реактора для осуществления способа. 3 ил.

AB - Изобретение относится к получению кремния в виде микроразмерных пленок, которые могут быть использованы в микроэлектронике, устройствах преобразования и накопления энергии. Проводят электролиз галогенидного расплава из смеси солей, содержащей, мас.%: 5-30 хлорида лития (LiCl), 5-20 хлорида калия (KCl), 45-90 хлорида цезия (CsCl), 1-5 гексафторсиликата калия (K2SiF6). Электролиз расплава ведут в инертной атмосфере при температуре от 400 до 550°C с периодическим реверсом тока с анодного на катодный. Величина импульса анодного тока составляет от 5 до 45 мА/см2 при длительности от 1 до 30 с, а величина импульса катодного тока составляет от 3 до 30 мА/см2 при длительности от 60 до 3600 с. Способ позволяет получить сплошные микроразмерные пленки кремния при снижении температуры электроосаждения, повысить чистоту кремния и увеличить срок эксплуатации конструкционных материалов реактора для осуществления способа. 3 ил.

UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54056128

M3 - Патент

M1 - 2797969

Y2 - 2022/06/16

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -

ID: 47066715