Standard

Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение. / Зацепин, Анатолий Федорович (Inventor); Бунтов, Евгений Александрович (Inventor); Кортов, Всеволод Семенович (Inventor).
Федеральный институт промышленной собственности. Patent No.: 2535244. Dec 10, 2014.

Research output: Patent

Harvard

Зацепин, АФ, Бунтов, ЕА & Кортов, ВС Dec. 10 2014, Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение, Patent No. 2535244. <http://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2535244&TypeFile=html>

APA

Зацепин, А. Ф., Бунтов, Е. А., & Кортов, В. С. (2014). Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение. (Patent No. 2535244). Федеральный институт промышленной собственности. http://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2535244&TypeFile=html

Vancouver

Зацепин АФ, Бунтов ЕА, Кортов ВС, inventors. Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение. 2535244. 2014 Dec 10.

Author

Зацепин, Анатолий Федорович (Inventor) ; Бунтов, Евгений Александрович (Inventor) ; Кортов, Всеволод Семенович (Inventor). / Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке : патент на изобретение. Федеральный институт промышленной собственности. Patent No.: 2535244. Dec 10, 2014.

BibTeX

@misc{772b8f4bdbb04170ac43854501521005,
title = "Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке: патент на изобретение",
abstract = "Изобретение относится к материаловедению. Пленка оксида кремния на кремниевой подложке, имплантированная ионами олова, включает нанокластеры альфа-олова. Толщина пленки составляет 80÷350 нм, средняя концентрация олова находится в пределах от 2,16 до 7,1 атомных процентов, нанокластеры альфа-олова имеют радиус от 1,5 до 4 нм. Пленка имеет увеличенную интенсивность и уменьшенную ширину полосы фотолюминесценции в диапазоне 700÷1100 нм. ",
author = "Зацепин, {Анатолий Федорович} and Бунтов, {Евгений Александрович} and Кортов, {Всеволод Семенович}",
year = "2014",
month = dec,
day = "10",
language = "Русский",
publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "2535244; H01L 21/265,B82B 3/00",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Имплантированная ионами олова пленка оксида кремния на кремниевой подложке

T2 - патент на изобретение

AU - Зацепин, Анатолий Федорович

AU - Бунтов, Евгений Александрович

AU - Кортов, Всеволод Семенович

PY - 2014/12/10

Y1 - 2014/12/10

N2 - Изобретение относится к материаловедению. Пленка оксида кремния на кремниевой подложке, имплантированная ионами олова, включает нанокластеры альфа-олова. Толщина пленки составляет 80÷350 нм, средняя концентрация олова находится в пределах от 2,16 до 7,1 атомных процентов, нанокластеры альфа-олова имеют радиус от 1,5 до 4 нм. Пленка имеет увеличенную интенсивность и уменьшенную ширину полосы фотолюминесценции в диапазоне 700÷1100 нм.

AB - Изобретение относится к материаловедению. Пленка оксида кремния на кремниевой подложке, имплантированная ионами олова, включает нанокластеры альфа-олова. Толщина пленки составляет 80÷350 нм, средняя концентрация олова находится в пределах от 2,16 до 7,1 атомных процентов, нанокластеры альфа-олова имеют радиус от 1,5 до 4 нм. Пленка имеет увеличенную интенсивность и уменьшенную ширину полосы фотолюминесценции в диапазоне 700÷1100 нм.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=37456323

M3 - Патент

M1 - 2535244

Y2 - 2013/06/18

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -

ID: 11073866