TY - JOUR

T1 - ФОРМИРОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТНЫХ TIC/A-C:H ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ TI В AR/C2H2 СМЕСИ, АКТИВИРУЕМОЙ ЭЛЕКТРОННЫМ ПУЧКОМ

AU - Гаврилов, Н. В.

AU - Каменецких, Александр Сергеевич

AU - Комарский, Александр Александрович

AU - Мурзакаев, Айдар Марксович

AU - Чукин, Андрей Владимирович

PY - 2014

Y1 - 2014

N2 - Композитные покрытия TiC/a-C:H толщиной до 5 мкм были получены реактивным магнетронным распылением титана в газовой смеси Ar-C2H2, которая дополнительно облучалась широким электронным пучком с энергией 100 эВ и током до 1 А. Состав покрытий регулировался изменением потока ацетилена в пределах 1–16 мл/мин при постоянном потоке аргона (40 мл/мин) и токе магнетрона (2 А, 10 мкс, 50 кГц). Исследования методом рентгенофазового анализа и просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения подтвердили формирование наноструктурного покрытия с размером нанокристаллитов TiC от 4 до 9 нм. Микротвердость покрытий немонотонно зависит от величины потока ацетилена. Максимальная микротвердость 30 ГПа получена при атомной концентрации титана в покрытии 38, определенной методом оже-анализа. Установлено, что облучение газовой смеси в процессе нанесения покрытия электронным пучком способствует ускоренному разложению ацетилена и обеспечивает многократное (от 10 до 2 мл/мин) снижение величины потока C2H2, при котором достигается максимум микротвердости покрытия.

AB - Композитные покрытия TiC/a-C:H толщиной до 5 мкм были получены реактивным магнетронным распылением титана в газовой смеси Ar-C2H2, которая дополнительно облучалась широким электронным пучком с энергией 100 эВ и током до 1 А. Состав покрытий регулировался изменением потока ацетилена в пределах 1–16 мл/мин при постоянном потоке аргона (40 мл/мин) и токе магнетрона (2 А, 10 мкс, 50 кГц). Исследования методом рентгенофазового анализа и просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения подтвердили формирование наноструктурного покрытия с размером нанокристаллитов TiC от 4 до 9 нм. Микротвердость покрытий немонотонно зависит от величины потока ацетилена. Максимальная микротвердость 30 ГПа получена при атомной концентрации титана в покрытии 38, определенной методом оже-анализа. Установлено, что облучение газовой смеси в процессе нанесения покрытия электронным пучком способствует ускоренному разложению ацетилена и обеспечивает многократное (от 10 до 2 мл/мин) снижение величины потока C2H2, при котором достигается максимум микротвердости покрытия.

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=21957104

U2 - 10.7868/S0207352814090066

DO - 10.7868/S0207352814090066

M3 - Статья

SP - 13

JO - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

JF - Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования

SN - 1028-0960

IS - 9

ER -