Представлены результаты исследования распада метастабильной β-фазы при старении сплавов Ti–10V–2Fe–3Al, VST5553 (Ti–5Al–5V–5Mo–3Cr–0.5Fe) и Beta-21S (Ti–3Al–15Mo–2.7Nb–0.2Si вес. %). Проведено сравнительное исследование эволюции микроструктуры и изменения периодов кристаллической решетки фаз в сплавах при старении. Морфологию вторичной α-фазы, образующейся при старении, исследовали с помощью растровой электронной микроскопии. Сопутствующее диффузионное перераспределения легирующих элементов между фазами оценивали с помощью метода полнопрофильного рентгеноструктурного анализа и проведения термодинамического моделирования в программе JMatPRO и численных расчетов. Установлено, что в процессе старения изменение периодов кристаллических решеток в исследованных сплавах имеет общую закономерность, что связано с единой природой процесса диффузионного перераспределения легирующих элементов между фазами.