Standard

Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте: свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ. / Мельников, Семен Алексеевич (Inventor); Кособоков, Михаил Сергеевич (Inventor); Аликин, Денис Олегович (Inventor).
Федеральный институт промышленной собственности. Patent No.: 2023681420. Oct 13, 2023.

Research output: Patent

Harvard

Мельников, СА, Кособоков, МС & Аликин, ДО Oct. 13 2023, Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте: свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ, Patent No. 2023681420. <https://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=EVM&DocNumber=2023681420&TypeFile=html>

APA

Мельников, С. А., Кособоков, М. С., & Аликин, Д. О. (2023). Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте: свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ. (Patent No. 2023681420). Федеральный институт промышленной собственности. https://www1.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=EVM&DocNumber=2023681420&TypeFile=html

Vancouver

Мельников СА, Кособоков МС, Аликин ДО, inventors. Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте: свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ. 2023681420. 2023 Oct 13.

Author

Мельников, Семен Алексеевич (Inventor) ; Кособоков, Михаил Сергеевич (Inventor) ; Аликин, Денис Олегович (Inventor). / Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте : свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ. Федеральный институт промышленной собственности. Patent No.: 2023681420. Oct 13, 2023.

BibTeX

@misc{05796b3e8af04a8eb8a93c6a86fdbbf6,
title = "Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте: свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ",
abstract = "Программа методом конечных элементов решает обратную физическую задачу поиска жёсткости при заданной частоте первой вертикальной резонансной колебательной моды кремниевого зонда атомно-силового микроскопа. Входные параметры: геометрические размеры кантилевера и иглы. В расчёте учтена анизотропия упругих свойств кремния и ориентация кристаллографических направлений в соответствии технологии производства зондов. При решении обратной задачи для сходимости экспериментальной частоты с теоретической варьируется толщина кантилевера. Программа может быть использована для определения жёсткости кантилеверов без контакта зонда с поверхностью. Выражаем благодарность за финансирование исследований со стороны Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030».",
author = "Мельников, {Семен Алексеевич} and Кособоков, {Михаил Сергеевич} and Аликин, {Денис Олегович}",
year = "2023",
month = oct,
day = "13",
language = "Русский",
publisher = "Федеральный институт промышленной собственности",
address = "Российская Федерация",
type = "Patent",
note = "2023681420",

}

RIS

TY - PAT

T1 - Программа для точного определения жёсткости кремниевого зонда СЗМ по его геометрии и первой резонансной частоте

T2 - свидетельство о государственной регистрации программы для ЭВМ

AU - Мельников, Семен Алексеевич

AU - Кособоков, Михаил Сергеевич

AU - Аликин, Денис Олегович

PY - 2023/10/13

Y1 - 2023/10/13

N2 - Программа методом конечных элементов решает обратную физическую задачу поиска жёсткости при заданной частоте первой вертикальной резонансной колебательной моды кремниевого зонда атомно-силового микроскопа. Входные параметры: геометрические размеры кантилевера и иглы. В расчёте учтена анизотропия упругих свойств кремния и ориентация кристаллографических направлений в соответствии технологии производства зондов. При решении обратной задачи для сходимости экспериментальной частоты с теоретической варьируется толщина кантилевера. Программа может быть использована для определения жёсткости кантилеверов без контакта зонда с поверхностью. Выражаем благодарность за финансирование исследований со стороны Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030».

AB - Программа методом конечных элементов решает обратную физическую задачу поиска жёсткости при заданной частоте первой вертикальной резонансной колебательной моды кремниевого зонда атомно-силового микроскопа. Входные параметры: геометрические размеры кантилевера и иглы. В расчёте учтена анизотропия упругих свойств кремния и ориентация кристаллографических направлений в соответствии технологии производства зондов. При решении обратной задачи для сходимости экспериментальной частоты с теоретической варьируется толщина кантилевера. Программа может быть использована для определения жёсткости кантилеверов без контакта зонда с поверхностью. Выражаем благодарность за финансирование исследований со стороны Исследование выполнено при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках Программы развития УрФУ в соответствии с программой стратегического академического лидерства «Приоритет-2030».

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=56000162

M3 - Патент

M1 - 2023681420

Y2 - 2023/10/03

PB - Федеральный институт промышленной собственности

ER -

ID: 57028186