Standard

ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ. / Кручинин, Дмитрий Юрьевич; Фарафонтова, Елена Павловна.
In: Оптический журнал, Vol. 82, No. 6, 2015, p. 72-76.

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review

Harvard

Кручинин, ДЮ & Фарафонтова, ЕП 2015, 'ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ', Оптический журнал, vol. 82, no. 6, pp. 72-76.

APA

Кручинин, Д. Ю., & Фарафонтова, Е. П. (2015). ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ. Оптический журнал, 82(6), 72-76.

Vancouver

Кручинин ДЮ, Фарафонтова ЕП. ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ. Оптический журнал. 2015;82(6):72-76.

Author

Кручинин, Дмитрий Юрьевич ; Фарафонтова, Елена Павловна. / ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ. In: Оптический журнал. 2015 ; Vol. 82, No. 6. pp. 72-76.

BibTeX

@article{bf8822014147414ea23fd8a20631d07b,
title = "ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ",
abstract = "Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы",
author = "Кручинин, {Дмитрий Юрьевич} and Фарафонтова, {Елена Павловна}",
year = "2015",
language = "Русский",
volume = "82",
pages = "72--76",
journal = "Оптический журнал",
issn = "1023-5086",
publisher = "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики",
number = "6",

}

RIS

TY - JOUR

T1 - ВЛИЯНИЕ УГЛОВОГО РАСПОЛОЖЕНИЯ ФОТОШАБЛОНА ПРИ СИНТЕЗЕ КРУГОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ШКАЛ НА ИХ УГЛОВЫЕ ПОГРЕШНОСТИ

AU - Кручинин, Дмитрий Юрьевич

AU - Фарафонтова, Елена Павловна

PY - 2015

Y1 - 2015

N2 - Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы

AB - Изучено влияние углового расположения фотошаблона при синтезе круговых оптических шкал, изготовленных с помощью этого фотошаблона способом обратной фотолитографии, на их накопленную угловую погрешность. С помощью фазо-статистического метода исследованы угловые погрешности круговых оптических шкал и определены погрешности, вносимые совместно генератором изображений и операцией экспонирования в угловые погрешности шкалы

UR - https://elibrary.ru/item.asp?id=23588195

M3 - Статья

VL - 82

SP - 72

EP - 76

JO - Оптический журнал

JF - Оптический журнал

SN - 1023-5086

IS - 6

ER -

ID: 1780086