Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
Research output: Contribution to journal › Article › peer-review
}
TY - JOUR
T1 - ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ МИКРОСТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК СУРЬМЫ ПЕРЕМЕННОЙ ТОЛЩИНЫ
AU - Колосов, Владимир Юрьевич
AU - Юшков, Антон Александрович
AU - Веретенников, Лев Михайлович
AU - Бокуняева, Александра Олеговна
PY - 2022
Y1 - 2022
N2 - Напыленные в вакууме тонкие пленки Sb с градиентом толщины исследованы методами просвечивающей электронной микроскопии. Микроструктуры в пленках с увеличением толщины изменялись от аморфных островков увеличивающейся плотности и размеров до лабиринтной и сплошной пленки с текстурированием, также меняющимся с ростом толщины. На основе анализа картин изгибных экстинкционных контуров выявлен сильный внутренний изгиб кристаллической решетки, до 120 deg/μm, а также зависимость кристаллографических ориентировок в структурах пленки от толщины.
AB - Напыленные в вакууме тонкие пленки Sb с градиентом толщины исследованы методами просвечивающей электронной микроскопии. Микроструктуры в пленках с увеличением толщины изменялись от аморфных островков увеличивающейся плотности и размеров до лабиринтной и сплошной пленки с текстурированием, также меняющимся с ростом толщины. На основе анализа картин изгибных экстинкционных контуров выявлен сильный внутренний изгиб кристаллической решетки, до 120 deg/μm, а также зависимость кристаллографических ориентировок в структурах пленки от толщины.
UR - https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49608004
U2 - 10.21883/JTF.2022.11.53447.09-22
DO - 10.21883/JTF.2022.11.53447.09-22
M3 - Статья
VL - 92
SP - 1727
EP - 1732
JO - Журнал технической физики
JF - Журнал технической физики
SN - 0044-4642
IS - 11
ER -
ID: 31584126